铭衍海氧化硅抛光液适合硅晶圆抛光吗，能达到什么表面效果？
更新时间：2026-05-07
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铭衍海的氧化硅抛光液完全适配单晶硅、多晶硅、SOI 硅晶圆 CMP 化学机械抛光，颗粒球形圆润、金属离子含量极低，可实现纳米级超光滑表面，无微观划伤、无表面雾斑，满足半导体制程洁净度要求。
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